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管路管道加熱帶加熱夾克系統工程

加熱夾克又稱為包覆式加熱器。加熱夾克是用來維持半導體產業中所使用的真空管路、氣體管路中的溫度。當氣體管路中的溫度維持於一定範圍內時,製程所產生的生成物將不易沉積或堵塞於管路中,因而可以減少機台的保養次數,同時可以延長相關設備的壽命。加熱夾克半導體製程中,扮演著不可或缺的角色。WCVD Process,Metal Etch Process,LP-CVD Nitride Process這種極容易產生化學生成物的製程中,更是需要加熱帶來解決管路阻塞問題。

●材質特性
採用防火
(不助燃)材質Glass Fiber Cloth Coated PTFE(鐵氟龍)布材
布料耐熱溫度高達
400度。素材自國外進口,本國加工製造。
長時間高溫使用亦不會硬化或粉化。
●成品樣式
備有各種厚度與尺寸素材。
可依客戶需要製作各種樣式。
●提供快速即時之服務
可依客戶需要,提供特殊設計之製造。
免除進口與報關的長時間等待,優越的產品,台灣也可以取得。

●各大廠實績豐富
tsmc UMC MXIC PSC SMIC XMC 、睿力集成、聯芯集成、華邦電子、英特爾、 友達光電、 超視堺