管路加熱系統|專業電熱溫控客製規劃

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管路加熱系統|專業電熱溫控客製規劃

Heating Jacket 「加熱夾克」又稱為Mantle heater 「包覆式加熱器」,是用來維持半導體產業中所使用的真空管路、氣體管路中的溫度。
當氣體管路中的溫度維持於一定範圍內時,製程所產生的生成物將不易沉積或堵塞於管路中,因而可以減少機台的保養次數,同時可以延長相關設備的壽命。 
Heating Jacket 在半導體製程中,管路加熱系統扮演著不可或缺的角色,尤其在WCVD Process、Metal Etch Process、LP-CVD Nitride Process中,這種極容易產生化學生成物的製程中,更是需要Heating Jacket 來解決管路阻塞問題。

Gas Heating System是藉由將氣體加熱並直接導入密閉空間中<如:管路,反應爐...等>,管路加熱系統以達到對密閉空間中之物體或氣體產生適當反應予溫度之目的。


燃氣加熱系統可以幫助真空管路維持在穩定的高溫狀態,以減少生成物<副產品>的產生,降低管路阻塞的機率。
燃氣加熱系統通常會配合加熱套系統管路加熱系統<管路加熱帶或保溫帶>一起使用。
燃氣加熱系統可安裝於各種需要加熱功能的設備周邊。
燃氣加熱系統可依據客戶需要增加各種警示功能與監控功能。客戶的需要是我們全心努力的目標
溫度控制器用於控制溫度。
顯示溫度面板。
用於控制氣體流量的流量計。
燃氣加熱器聯鎖失敗。
氣源停止聯鎖。
氣流的聯鎖低於設定值。
聯鎖過溫。和低溫。